| 发明名称 |
PATTERN FORMING METHOD AND PATTERN FORMING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20060049318(A) |
申请公布日期 |
2006.05.18 |
| 申请号 |
KR20050100510 |
申请日期 |
2005.10.25 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. |
发明人 |
YABE MANABU |
| 分类号 |
H01J17/04;B05C5/00;B05D1/26;G03F7/20;H01J9/02;H01J11/02;H01J17/49;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J17/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
