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发明名称 ABSTIMMUNG EINES SUBSTRATTEMPERATURMESSSYSTEMS
摘要
申请公布号 DE69930649(D1) 申请公布日期 2006.05.18
申请号 DE19996030649 申请日期 1999.08.13
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ADERHOLD, WOLFGANG;MAYUR, J.;KNOOT, A.
分类号 G01J5/00;G01K15/00;G01J5/10;H01L21/26;H01L21/66 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
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