发明名称 NEW HEXAFLUOROALCOHOL-BASED MONOMERS AND PROCESSES OF PREPARATION THEREOF
摘要
申请公布号 CA2586864(A1) 申请公布日期 2006.05.18
申请号 CA20052586864 申请日期 2005.11.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION (IBM);ST-JEAN PHOTOCHIMIE INC. 发明人 KHOJASTEH, MAHMOUD;VARANASI, PUSHKARA RAO;FEGHALI, KHALIL;MOTALLEBI, SHAHROKH;BOUCHARD, LUC;MARCOTTE, IAN;DESILETS, DENIS
分类号 C07C69/74;G03F7/20;H01L21/308 主分类号 C07C69/74
代理机构 代理人
主权项
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