| 发明名称 |
DRIVE MECHANISM FOR A VACUUM TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060047754(A) |
申请公布日期 |
2006.05.18 |
| 申请号 |
KR20050037872 |
申请日期 |
2005.05.06 |
| 申请人 |
APPLIED FILMS GMBH & CO. KG |
发明人 |
LINDENBERG RALPH;KONIG MICHAEL;SCHUSSLER UWE;BANGERT STEFAN |
| 分类号 |
C23C14/50;H01L21/02;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/677 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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