发明名称 METHOD AND MEANS FOR PRODUCING AND UTILIZING ARRAYS OF DIFFRACTION TYPE LENSES FOR MICRO-ELECTRONICS MASK MAKING
摘要
申请公布号 US3536371(A) 申请公布日期 1970.10.27
申请号 USD3536371 申请日期 1967.07.20
申请人 DANIEL POST 发明人 DANIEL POST
分类号 G02B5/32;(IPC1-7):G02B27/38 主分类号 G02B5/32
代理机构 代理人
主权项
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