陡源极汲极金属闸电晶体之形成

摘要

可利用闸极结构作为遮罩形成源极以及汲极区域。接着可移除闸极结构以形成间隙，并且可形成间隔体于间隙中以界定沟槽。于形成沟槽于基板内的过程中，移除源极汲极区域一部分。接着以磊晶材料回填该基板以及于其上形成新的闸极结构。藉此达成更陡之源极汲极接合。