| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060045053(A) |
申请公布日期 |
2006.05.16 |
| 申请号 |
KR20050026803 |
申请日期 |
2005.03.30 |
| 申请人 |
DENSO CORP.;SUMCO CORPORATION |
发明人 |
YAMAUCHI SHOICHI;YAMAGUCHI HITOSHI;MAKINO TOMOATSU;NOGAMI SYOUJI;YAMAOKA TOMONORI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L29/06;H01L21/205;H01L21/336;H01L21/338;H01L21/8234;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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