压电体元件、喷墨头、角速度传感器、它们的制造方法及喷墨式记录装置

摘要

本发明公开了一种压电体元件、喷墨头、角速度传感器、它们的制造方法及喷墨式记录装置。压电体元件，包括：两个电极膜、和被这些电极膜夹着的由(111)面优先取向的两层压电体薄膜构成的压电体层叠膜。两层压电体薄膜，为彼此连续相接的柱状粒子的集合体。第2压电体薄膜的柱状粒子的平均截面直径大于第1压电体薄膜的柱状粒子的平均截面直径。压电体层叠膜的厚度与第2压电体薄膜的柱状粒子的平均截面直径的比大于等于20小于等于60。

主权项

1、一种压电体元件，包括：第1电极膜、由设置在该第1电极膜上的第1压电体薄膜和设置在该第1压电体薄膜上的第2压电体薄膜构成的压电体层叠膜、以及设置在该压电体层叠膜上的第2电极膜，其特征在于：上述压电体层叠膜，由优先取向于菱形体晶系或正方晶系的(111)面的钙钛矿型氧化物构成；上述第1及第2压电体薄膜，为彼此连续相接的柱状粒子的集合体；上述第2压电体薄膜的柱状粒子的平均截面直径大于上述第1压电体薄膜的柱状粒子的平均截面直径；上述压电体层叠膜的厚度与上述第2压电体薄膜的柱状粒子的平均截面直径的比大于等于20小于等于60。