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发明名称 PLASMA SURFACE PROCESSING SYSTEM AND SUPPLY DEVICE FOR PLASMA PROCESSING SOLUTION THEREFOR
摘要
申请公布号 KR20060040598(A) 申请公布日期 2006.05.10
申请号 KR20057024040 申请日期 2005.12.14
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 JEONG, YOUNG MAN;OH, JUNG GEUN
分类号 H01L21/02;H01L21/205 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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