| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING THIN LAYERS OF SEMICONDUCTOR MATERIAL FROM A DOUBLE-SIDED DONOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1654758(A1) |
申请公布日期 |
2006.05.10 |
| 申请号 |
EP20040769359 |
申请日期 |
2004.08.11 |
| 申请人 |
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES |
发明人 |
MALEVILLE, CHRISTOPHE |
| 分类号 |
H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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