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发明名称
Lithographic apparatus and mask table
摘要
申请公布号
EP1139176(B1)
申请公布日期
2006.05.10
申请号
EP20010302614
申请日期
2001.03.21
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
VAN DIJSSELDONK, ANTONIUS JOHANNES JOSEPHUS
分类号
G03F7/20;G03F1/14
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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