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经营范围
发明名称
SLURRY SUPPLY APPARATUS AND METHOD, CMP APPARATUS AND METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060038773(A)
申请公布日期
2006.05.04
申请号
KR20040087910
申请日期
2004.11.01
申请人
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, JIN HWAN
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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