流体控制器

摘要

本发明提供一种流体控制器，其中，主体(22)的凹部(25)包括接近开口的大直径部(25a)和通过台阶部部(25b)连接到大直径部(25a)的下方的小直径部(25c)。在凹部(25)配合流路形成圆盘(26)。流路形成圆盘(26)包括配合于凹部大直径部(25a)的大直径圆筒部(31)，支承于凹部台阶部(25b)的连接部(32)，及具有比凹部小直径部(25c)的内径小的外径、下端由凹部(25)的底面支承的小直径圆筒部(33)。在流路形成圆盘的连接部(32)形成连通小直径圆筒部外侧环状空间(S1)与大直径圆筒部内侧环状空间(S2)的多个贯通孔(34)。流体流入通道(23)连通到流路形成圆盘(26)的小直径圆筒部(33)下端，流体流出通道(24)连通到小直径圆筒部外侧环状空间(S1)。

主权项

1.一种流体控制器，具有块状主体和隔膜，其中，该块状主体具有流体流入通道、流体流出通道、及朝上方开口的凹部；该隔膜通过被推压到配置于主体的凹部内的环状阀座或从其离开而对流体通道进行开闭，其特征在于：凹部为由大直径部和小直径部构成的形状，该大直径部接近开口，该小直径部通过台阶部与大直径部的下方相连，同时，还具有嵌入到该凹部的流路形成圆盘；流路形成圆盘由大直径圆筒部、小直径圆筒部、及连接部构成，该大直径圆筒部流体密封地配合到凹部大直径部；该小直径圆筒部具有比凹部小直径部的内径小的外径，其下端由凹部的底面支承；该连接部连接大直径圆筒部的下端部与小直径圆筒部的上端部，而且由凹部台阶部支承；隔膜的周缘部固定于流路形成圆盘的大直径圆筒部的上端部，阀座设于流路形成圆盘的小直径圆筒部的上端部，由流路形成圆盘的大直径圆筒部内周、隔膜、阀座、及流路形成圆盘的连接部上表面形成大直径圆筒部内侧环状空间，在流路形成圆盘的连接部形成多个贯通孔，该多个贯通孔连通形成于流路形成圆盘的小直径圆筒部与凹部的小直径部周面之间的小直径圆筒部外侧环状空间与大直径圆筒部内侧环状空间；流体流入通道和流体流出通道的任一方连通到流路形成圆盘的小直径圆筒部下端，其另一方连通到小直径圆筒部外侧环状空间。