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发明名称 MULTI-MODE CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 EP1652209(A2) 申请公布日期 2006.05.03
申请号 EP20040786127 申请日期 2004.07.28
申请人 GATAN, INC. 发明人 CHAO, HENRY, SHIH-MING;TREVOR, COLIN, GEOFFREY;MOONEY, PAUL, EDWARD;KRAUS, BERND
分类号 H01J49/44;G01N23/04;H01J37/22;H01J37/26;H01L27/146;H01L27/148;H04N5/341;H04N5/369;(IPC1-7):H01J37/26 主分类号 H01J49/44
代理机构 代理人
主权项
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