发明名称 蒸发装置,蒸镀装置及蒸镀装置之蒸发装置之切换方法
摘要 本发明是一种在指定真空度下使指定材料形成蒸发的蒸发装置4,其具备有蒸发用容器11及载置台15,上述蒸发用容器11是连接于真空泵浦12的同时设有材料放出孔17能够于上壁部11c放出蒸发过的蒸发材料(B),上述载置台15是于上述蒸发用容器11内被设置成透过昇降用汽缸装置13形成昇降自如的同时能够载置已收纳有蒸镀材料(B)的材料收纳容器14,此外,蒸发装置4是于上述蒸发用容器11的材料放出孔17周围,设有当材料收纳容器14透过载置台15形成上昇时藉由包覆着其外周围以抑制蒸发材料朝该蒸发用容器11放出的筒状舱壁构件19,并且于上述载置台15及舱壁构件19设有对材料收纳容器14进行加热的加热装置21。
申请公布号 TW200613575 申请公布日期 2006.05.01
申请号 TW094121254 申请日期 2005.06.24
申请人 日立造船股份有限公司 发明人 松本佑司;前羽良保;铃木和人;井上铁也;大工博之
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本