汽化过氧化氢浓度检测器

摘要

一种用以净化一特定区域的汽化净化系统。此系统包括：用以界定一区域之腔室，与用以自过氧化氢溶液产生汽化过氧化氢的产生器。以及一种用以供给此汽化过氧化氢至上述之区域的闭回路循环系统。并具有分解此汽化过氧化氢的分解器，以及复数个感测器，其分别位于前述之分解器前后以量测通过分解器后之温度变化，感测器并提供指示温度变化之电子信号。以及一控制单元，其用以根据来自前述感测器之电子信号，以判定上述之区域中其过氧化氢的存在。