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发明名称
Sputter ion source
摘要
申请公布号
EP1396870(B1)
申请公布日期
2006.04.26
申请号
EP20030017996
申请日期
2003.08.07
申请人
FORSCHUNGSZENTRUM ROSSENDORF E.V.
发明人
FRIEDRICH, MANFRED, DR.;TYRROFF, HORST, DR.
分类号
H01J27/20;H01J27/04;H01J27/22
主分类号
H01J27/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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