Laserlichtquelle, Verfahren zum Bearbeiten von Werkstücken mittels gepulster Laserstrahlung

摘要

Die Erfindung schafft eine Laserlichtquelle (110) mit einem Laserresonator, dessen Länge mittels einer Strahlumschalteinrichtung (113) veränderbar ist, so dass abhängig von der jeweils eingestellten Resonatorlänge die Pulsdauer der emittierten Laserstrahlung eingestellt werden kann. Die Strahlumschalteinrichtung (113) kann mittels eines mechanischen Spiegelsystems (213) realisiert werden. Die Strahlumschalteinrichtung (113) kann auch mittels eines elektro-optischen oder akusto-optischen Modulators realisiert werden, so dass die Strahlumschaltung sehr schnell erfolgen kann. Dies ermöglicht auch bei einer hohen Pulswiederholrate ein Umschalten der Resonatorlänge zwischen zwei aufeinander folgenden Laserpulsen. Die Erfindung schafft ferner ein Verfahren zur Bearbeitung von Werkstücken (150) mittels gepulster Laserstrahlung, wobei mittels einer Ablenkeinheit (130) ein Laserstrahl zweidimensional abgelenkt und über eine Abbildungsoptik (140) auf das Werkstück (150) gerichtet wird. Die Pulsdauer der Laserpulse wird insbesondere durch eine Wahl des Strahlengangs innerhalb des Laserresonators derart eingestellt, dass ein optimaler Materialabtrag gewährleistet ist.