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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR ACCURATELY POSITIONING A PATTERN ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号
EP1646502(A1)
申请公布日期
2006.04.19
申请号
EP20040744460
申请日期
2004.07.01
申请人
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.
发明人
VAN DAM, DIRKJAN, B.;VAN DEN BESSELAAR, LEONARDUS, J., C.
分类号
B41J2/01;G03F9/00;H01L51/56;H05B33/10;(IPC1-7):B41J2/01
主分类号
B41J2/01
代理机构
代理人
主权项
地址
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