发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SLOPE TO THRESHOLD CONVERSION FOR PROCESS STATE MONITORING AND ENDPOINT DETECTION
摘要
申请公布号 EP1570363(A4) 申请公布日期 2006.04.12
申请号 EP20030808456 申请日期 2003.12.11
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 GOTKIS, YEHIEL;KATZ, VLADIMIR;HEMKER, DAVID;KISTLER, RODNEY;BRIGHT, NICOLAS, J.
分类号 G05B23/02;H01L21/66;(IPC1-7):G06F15/00 主分类号 G05B23/02
代理机构 代理人
主权项
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