| 发明名称 |
METHOD FOR EVALUATING RECORDED IMAGES OF WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1644778(A1) |
申请公布日期 |
2006.04.12 |
| 申请号 |
EP20040732122 |
申请日期 |
2004.05.11 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH |
发明人 |
MICHELSSON, DETLEF |
| 分类号 |
G01N21/95;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G01N21/95 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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