衬底支架提升机械装置

摘要

提供了一种用于在处理室中定位衬底支架的装置。在一实施例中，用于定位衬底支架的装置包括万向节机械装置，其有径向对准的夹紧部件，基本避免了在夹紧时连接到万向节机械装置的衬底支架脱离预定平面的移动。在另一实施例中，用于定位衬底支架的装置包括在处理室中的衬底支架。一柄与衬底支架相连，在处理室中延伸，且连接到万向节装置。万向节装置有一径向夹紧机械装置，其适于围绕多轴调整衬底支架的平面方向，而不在夹紧时对衬底支架施加旋转力矩。轴承组件有第一托架台和第二托架台，连接万向节装置。驱动器连接至少一个托架台，且适于在处理室中控制衬底支架的提升。

主权项

1.一种用于定位衬底支架的装置，包括：一轭形件，其具有形成于其内部的至少一个第一槽；一万向节底座，其具有适于支撑所述衬底支架的第一表面，和一相对的第二表面；及一第一螺纹部件，其被设置成穿过所述第一槽，且轴向推动所述轭形件和万向节底座而使其彼此抵靠对方。