| 发明名称 |
IMPROVED PROCESS FOR POLISHING OXIDIZABLE SURFACES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1278499(A) |
申请公布日期 |
1972.06.21 |
| 申请号 |
GB19690041529 |
申请日期 |
1969.08.20 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
JAMES CLAUDE BOATMAN |
| 分类号 |
C23F3/00;B24D3/00;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306 |
主分类号 |
C23F3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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