检测和校正多激光光束不对准的系统和方法

摘要

一种用于检测与多个激光束相关的一个或多个单独的分光束(16、18、20)偏离光轴的偏差的系统。在特定实施例中，所述系统包括自动校正(14)这些多光束中每个分光束的检测到的偏差。光束拾取装置，如拾取准直透镜或分束器(36)改变多光束的样品的方向，把分离的多光束提供给色轮(90)。分束器(98)将分离出的分光束分成第一分光束(100)和第二分光束(102)，并分别沿着终止于第一检测器(70)的第一光路和终止于第二检测器(72)的第二光路引导所述第一分光束和第二分光束。所述第一和第二光路的长度相差预定距离。在计算机(92)上运行的软件将第一检测器上的第一分光束的相对位置与第二检测器上第二分光束的位置参照所述预定距离进行比较，并随之提供光束偏差信号。

主权项

1.一种用于检测一个分光束与光轴的偏离的系统，其中一个多光束包括多个分光束，其中包括所述分光束，所述系统包括：第一装置，用于自动选择性地从所述多光束中分离出一个单独的分光束，并且提供所述单独的分光束作为对其响应的输出；第二装置，用于检测从所述第一装置输出的所述单独的分光束相对于所述光轴的不对准，包括：用于将所述分光束分成第一分光束和第二分光束、并且分别沿第一光路和第二光路引导所述第一分光束和第二分光束的装置，所述第一和第二光路具有不同的长度。