发明名称 ORGANIC ANTI-REFLECTIVE COATING POLYMER, ITS PREPARATION METHOD AND ORGANIC ANTI-REFLECTIVE COATING COMPOSITION COMPRISING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100570209(B1) 申请公布日期 2006.04.12
申请号 KR20030071917 申请日期 2003.10.15
申请人 发明人
分类号 G03F7/039;C09D179/08;G03F7/09;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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