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经营范围
发明名称
SPINNER APPARATUS OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
KR20060030659(A)
申请公布日期
2006.04.11
申请号
KR20040079515
申请日期
2004.10.06
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, DONG HYEUN
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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