Verfahren und System für die Kontaminationserkennung und Überwachung in einer Lithographiebelichtungsanlage und Verfahren zum Betreiben der gleichen unter gesteuerten atomsphärischen Bedingungen

摘要

Durch Anwenden äußerst effizienter Detektionstechniken, etwa der Chromatographie und der Absorptionsspektroskopie, können ein oder mehrere Kontaminationsstoffe erkannt und deren Konzentration quantitativ bestimmt werden. Auf diese Weise kann die nachteilige Auswirkung auf kritische Komponenten, etwa Retikel und Linsen in Form von beispielsweise abgeschiedenen anorganischen Salzen, deutlich verringert und das Prozessverhalten verbessert werden.