薄膜谐振器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种具有增强性能的薄膜谐振器及其制造方法。所述薄膜谐振器包括一个支撑装置，一个第一电极，一个介电层和一个第二电极。支撑装置具有多个支柱并且在支柱上形成支撑层。在支撑层上依次形成第一电极，介电层和第二电极。该薄膜谐振器极其小而且能够高度集成，此外，谐振器介电层的厚度能够调节，以获得对包括射频，中频和短频多波段的集成。另外，由于其紧凑的衬底，该薄膜谐振器可以使干涉最小化而且具有理想的尺寸，即，使得该薄膜谐振器极其小，同时具有三维浮置结构。

主权项

1.一种用于滤去预定波段频率的薄膜谐振器，其特征在于，该薄膜包括：一个支撑装置，具有多个支柱和一个支撑层，支柱形成在衬底上，支撑层形成在上述支柱上，其中上述支撑层由非压电材料组成，其中上述支柱形成在上述衬底上，以使上述支撑层在接近于其外围处获得上述支柱的支撑，并且形成多个通过上述支撑层的开口；一个在上述支撑装置上形成的第一电极；一个在上述第一电极上形成的由压电材料组成的介电层；一个在上述介电层上形成的第二电极；以及一个用于将上述第二电极连接到形成在上述衬底上的电路的连接装置，其中第一空气间隙被插入上述衬底和上述支撑装置之间，并且第二空气间隙被插入上述第二电极和上述连接装置之间。