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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR INCREASING BULK CONDUCTIVITY OF A FERROELECTRIC MATERIAL
摘要
申请公布号
EP1641558(A2)
申请公布日期
2006.04.05
申请号
EP20040754940
申请日期
2004.06.10
申请人
SILICON LIGHT MACHINES CORPORATION
发明人
GALAMBOS, LUDWIG, L.;MCRAE, JOSEPH, M.;MILES, RONALD, O.
分类号
H01L21/00;B01J19/00;C01D15/00;C01G33/00;C01G35/00;G02B6/00;H01L;H01L21/673;(IPC1-7):B01J19/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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