结晶质半导体膜及其制造方法

摘要

本发明之岛状结晶质半导体膜，系具有上面1及倾斜之侧面2，上面1及倾斜之侧面2之间，系被以曲线3所连结，同时，具有上面1之本体部11中之晶粒的平均粒径、及具有倾斜之侧面2的端部12中之晶粒的平均粒径，都是超过0.2μm。