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发明名称
Justiermarke zur Grobjustage und Feinjustage eines Halbleiterwafers in einem Belichtungsgerät
摘要
申请公布号
DE10345471(B4)
申请公布日期
2006.03.30
申请号
DE20031045471
申请日期
2003.09.30
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
MATTIZA, DIANA;HOMMEN, HEIKO;HASSE, HOLGER
分类号
H01L23/544;G03F7/20;G03F9/00
主分类号
H01L23/544
代理机构
代理人
主权项
地址
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