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经营范围
发明名称
摘要
申请公布号
JP3760769(B2)
申请公布日期
2006.03.29
申请号
JP20000602842
申请日期
2000.02.23
申请人
发明人
分类号
C30B29/06;H01L21/208;C30B15/00;C30B15/30
主分类号
C30B29/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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