发明名称
摘要
申请公布号 JP3760769(B2) 申请公布日期 2006.03.29
申请号 JP20000602842 申请日期 2000.02.23
申请人 发明人
分类号 C30B29/06;H01L21/208;C30B15/00;C30B15/30 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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