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发明名称 Apparatus for setting a coating and apparatus for coating
摘要
申请公布号 EP1411543(B1) 申请公布日期 2006.03.29
申请号 EP20030026463 申请日期 1998.12.15
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 TAKESHITA, KAZUHIRO;NAGASHIMA, SHINJI;MURAMATSU, MAKOTO;MIZUTANI, YOJI;YANO, KAZUTOSHI;KATAYAMA, KYOSHIGE
分类号 B05C5/00;H01L21/00;B05C9/08;B05D1/00;B05D3/04;H01L21/312;H01L21/316 主分类号 B05C5/00
代理机构 代理人
主权项
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