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发明名称 Slurries for mechanical or chemical-mechanical planarization of microelectronic-device substrate assemblies
摘要
申请公布号 KR100563018(B1) 申请公布日期 2006.03.22
申请号 KR20007004527 申请日期 2000.04.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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