发明名称 Particle beam apparatus
摘要
申请公布号 EP1288996(B1) 申请公布日期 2006.03.22
申请号 EP20010121183 申请日期 2001.09.04
申请人 ADVANTEST CORPORATION 发明人 FROSIEN, JUERGEN, DR.;LANIO, STEFAN, DR.
分类号 H01J37/244;H01J37/28 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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