电容性加速度传感器

摘要

一种用于加速度测量中的测量装置，更具体地涉及电容性加速度传感器。根据本发明的电容性加速度传感器包括支承在旋转轴线(7)处的可移动电极(5)，根据本发明的加速度传感器的该对电极中的电容变化被增强。根据本发明的加速度传感器结构使改进基于旋转运动的该对电极的电容灵敏度，并在电容性加速度传感器设计中以良好的性能测量加速度的成为可能。

主权项

1.一种电容性加速度传感器，它包括这样的至少一对电极，即每对电极包括对加速度起反应的可移动电极(5)和至少一个静止板部(6)，其特征在于，每对电极还这样包括基本上形成公共轴线的旋转轴线(7)，即：加速度传感器的可移动电极(5)刚性地支承在旋转轴线(7)上，使得可移动电极(5)绕着旋转轴线(7)以旋转运动方式自由转动；和通过电极(5)、(6)增强处于旋转运动中的可移动电极(5)和板部(6)之间的电容变化。