发明名称 Fabricating method of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100560307(B1) 申请公布日期 2006.03.14
申请号 KR20020086878 申请日期 2002.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;H01L21/768 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
地址