发明名称 Method for forming floating gate of flash memory using sidewall process
摘要
申请公布号 KR100559994(B1) 申请公布日期 2006.03.13
申请号 KR20030054837 申请日期 2003.08.08
申请人 发明人
分类号 H01L27/115;H01L21/336;H01L21/8247;H01L29/76;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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