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发明名称 APPARATUS FOR CONTROLLING THE LOCAL TEMPERATURE OF A WAFER
摘要
申请公布号 KR100558181(B1) 申请公布日期 2006.03.10
申请号 KR19990011060 申请日期 1999.03.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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