发明名称 III-V-Halbleiterstruktur und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE69534412(T2) 申请公布日期 2006.03.09
申请号 DE19956034412T 申请日期 1995.05.29
申请人 FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC. 发明人 CHO, JAESHIN;DURLAM, MARK;KYLER, KELLY W.;ABROKWAH, JONATHAN K.;CRONIN, WAYNE A.
分类号 H01L21/28;H01L21/033;H01L21/283;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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