发明名称 |
Optische Oberflächen-Prüfvorrichtung und Prüfungsverfahren |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69925323(T2) |
申请公布日期 |
2006.03.09 |
申请号 |
DE19996025323T |
申请日期 |
1999.03.18 |
申请人 |
NEC LCD TECHNOLOGIES, LTD. |
发明人 |
HAYASHIDA, MANABU |
分类号 |
G01M11/00;G01R31/28;G02F1/13;G02F1/1362;G02F1/1368;G09G3/00 |
主分类号 |
G01M11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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