发明名称 Optische Oberflächen-Prüfvorrichtung und Prüfungsverfahren
摘要
申请公布号 DE69925323(T2) 申请公布日期 2006.03.09
申请号 DE19996025323T 申请日期 1999.03.18
申请人 NEC LCD TECHNOLOGIES, LTD. 发明人 HAYASHIDA, MANABU
分类号 G01M11/00;G01R31/28;G02F1/13;G02F1/1362;G02F1/1368;G09G3/00 主分类号 G01M11/00
代理机构 代理人
主权项
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