发明名称 METHOD FOR PREVENTING OVERETCH OF PMD LAYER
摘要
申请公布号 KR20060020823(A) 申请公布日期 2006.03.07
申请号 KR20040069511 申请日期 2004.09.01
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SEO, BYOUNG YOON
分类号 H01L21/335;H01L21/304 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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