发明名称 EQUIPMENT FOR MAKING ETCHING AREA ON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20060019962(A) 申请公布日期 2006.03.06
申请号 KR20040068674 申请日期 2004.08.30
申请人 DMS CO., LTD. 发明人 PARK, YONG SEOK;LEE, CHANG WON;KIM, SEUNG YONG
分类号 H01L21/306;H01L21/02 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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