发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE COMPRISING DUAL SILICON NITRIDE LAYERS
摘要
申请公布号 KR100555811(B1) 申请公布日期 2006.03.03
申请号 KR20050027960 申请日期 2005.04.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/283;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/336;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8242;H01L21/8247;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/41;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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