发明名称 Method for planarization of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100557584(B1) 申请公布日期 2006.03.03
申请号 KR19990063612 申请日期 1999.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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