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发明名称
摘要
申请公布号 JP2006507671(A) 申请公布日期 2006.03.02
申请号 JP20040552391 申请日期 2003.11.12
申请人 发明人
分类号 H01L27/108;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/02;H01L27/06;H01L27/088;H01L27/102;H01L29/10;H01L29/78 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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