摘要 |
Es wird eine optische Positionsmesseinrichtung angegeben, die zur Erzeugung positionsabhängiger Abtastsignale dient. Sie besteht aus einer Messteilung und einer Abtasteinheit, die relativ zueinander in einer Messrichtung beweglich angeordnet sind. Die Abtasteinheit umfasst eine Lichtquelle und eine optoelektronische Detektoranordnung, die aus mehreren Detektorelementeinheiten besteht, deren geometrische Form und/oder Anordnung derart gewählt ist, dass darüber zumindest eine Teil-Filterung unerwünschter Oberwellen aus den Abtastsignalen resultiert. Die Messteilung besteht aus einer in Messrichtung periodischen Anordnung von Teilungsbereichen mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften mit der Periodizität TPM. Deren Form und/oder Anordnung ist derart gewählt, dass darüber ebenfalls zumindest eine Teil-Filterung unerwünschter Oberwellen aus den Abtastsignalen resultiert (Figur 2).
|