发明名称 Optische Positionsmesseinrichtung
摘要 Es wird eine optische Positionsmesseinrichtung angegeben, die zur Erzeugung positionsabhängiger Abtastsignale dient. Sie besteht aus einer Messteilung und einer Abtasteinheit, die relativ zueinander in einer Messrichtung beweglich angeordnet sind. Die Abtasteinheit umfasst eine Lichtquelle und eine optoelektronische Detektoranordnung, die aus mehreren Detektorelementeinheiten besteht, deren geometrische Form und/oder Anordnung derart gewählt ist, dass darüber zumindest eine Teil-Filterung unerwünschter Oberwellen aus den Abtastsignalen resultiert. Die Messteilung besteht aus einer in Messrichtung periodischen Anordnung von Teilungsbereichen mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften mit der Periodizität TPM. Deren Form und/oder Anordnung ist derart gewählt, dass darüber ebenfalls zumindest eine Teil-Filterung unerwünschter Oberwellen aus den Abtastsignalen resultiert (Figur 2).
申请公布号 DE102004041950(A1) 申请公布日期 2006.03.02
申请号 DE200410041950 申请日期 2004.08.31
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 TOVAR, HEINZ
分类号 G01B11/00;G01B11/02;G01B11/26;G01D5/36 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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