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发明名称
Verfahren zur Bildung einer Isolierschicht und Verfahren zur Herstellung eines Grabenkondensators
摘要
申请公布号
DE60106011(T2)
申请公布日期
2006.03.02
申请号
DE20016006011T
申请日期
2001.07.23
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
SCHNEIDER, TORSTEN;SPULER, BRUNO;DRABE, CHRISTIAN;HAENSEL, JANA;KRASEMANN, ANKE;LORENZ, BARBARA;MORGENSTERN, DR.
分类号
H01L21/311;H01L21/334;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/94
主分类号
H01L21/311
代理机构
代理人
主权项
地址
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