| 发明名称 |
PHOTORESIST DISPENSE METHOD BY COMPENSATION FOR SUBSTRATE REFLECTIVITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1157307(B1) |
申请公布日期 |
2006.03.01 |
| 申请号 |
EP20000980837 |
申请日期 |
2000.11.28 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
BAKER, DANIEL C. |
| 分类号 |
G01B11/06;G03C1/74;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/312 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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