发明名称 制造对象物的搬送装置及制造对象物的搬送方法
摘要 本发明的课题是在于提供一种制造对象物的搬送装置及制造对象物的搬送方法,亦即可依照所欲投入工程内的顺序来积极地移换储存于工程间所搬送而来的载体之制造对象物,然后予以搬送至对象的制造装置。其解决手段为:一种制造对象物的搬送装置16,系将储存复数个工程间所搬送来的复数个制造对象物的载体15予以取入该工程后,在藉由单片搬送来将制造对象物W搬送至配置于工程内的制造对象物的制造装置之单片搬送传送带18中,移动载体15内的复数个制造对象物,其特征为具备:制造对象物移换手段100,其系配置于工程内,将储工程间所搬送来的复数个制造对象物的载体15予以取入该工程,而供以进行制造对象物的移换。
申请公布号 TW200423219 申请公布日期 2004.11.01
申请号 TW093106338 申请日期 2004.03.10
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 田中秀治;小林义武;藤村尚志;青木康次
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本